반도체공장서 가스누출 시 0.5초 내 감지…초음파 감지기 나와

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화학물질안전원 자체 기술…민간기업과 제품 개발해 시범사업

(서울=연합뉴스) 이재영 기자 = 초음파를 활용, 반도체 생산설비에서 가스가 누출됐을 때 이전보다 빠르게 감지할 수 있는 제품이 개발됐다.

환경부 화학물질안전원은 안전원이 특허를 가진 초음파를 활용한 가스 누출 감지 기술을 적용한 탐지기를 민간기업과 함께 개발, 6일부터 한 반도체업체에서 시범사업을 벌인다고 5일 밝혔다.

반도체 제조 시 독성물질과 인화성 물질이 많이 사용돼 가스 누출을 신속히 파악해야 할 필요성이 크다.

현재 반도체 가스공급설비에 설치되는 '전기화학 가스 감지기'의 경우 누출된 가스가 흡입관에 들어와야 감지할 수 있어 흡입관 길이만큼 감지에 걸리는 시간이 늘어난다.

화학물질안전원이 개발한 초음파 감지기는 초음파를 활용해 가스가 누출되면 0.5초 내 감지할 수 있으며, 특히 어떤 가스든 종류를 가리지 않고 감지할 수 있다.

빠른 감지가 가능함에 따라 염화수소 공급설비 기준으로 초음파 감지기를 달면 가스 누출 시 피해 범위가 기존 감지기(517ｍ) 절반 수준인 264ｍ로 줄어든다고 안전원은 설명했다.

안전원은 시범사업 효과를 분석해 국내 반도체·디스플레이업체에 초음파 감지기를 적극적으로 홍보하는 한편 가스공급설비 국제표준(SEMI)에 반영될 수 있도록 협의할 계획이다.

jylee24@yna.co.kr

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